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半导体及微电子

      集成电路是半导体产业最大的组成部分,亦是溅射靶材重要应用领域。信息技术的飞速发展,要求集成电路的集成度越来越高,电路中单元器件尺寸不断缩小,元件尺寸由毫米级到微米级,再到纳米级。每个单元器件内部由衬底、绝缘层、介质层、导体层及保护层等组成,其中,介质层、导体层甚至保护层都要用到溅射镀膜工艺,溅射靶材是制备集成电路的核心材料之一。
      利用完善的制造设施和技术能力,我们为半导体相关应用领域提供高纯度、细微晶粒的高性能溅射靶材。
      灿元在半导体及微电子领域中主要提供以下靶材产品:

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