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绑定靶材



为了避免脆性金属、合金、氧化物等易裂材料在使用过程中破裂,灿元可为客户提供绑定(Bonding)服务,即把靶材绑定在背板上,除了具有保护靶材免于运送或者拿取中的意外破裂,也可确保靶材的冷却及电接触良好,并可改善靶材使用时机械强度不足的问题,亦可解决大尺寸面积靶材受限的问题。一般靶材绑定用的背板为金属铜、金属钛、金属钼和不锈钢,背板是在溅射时支撑靶材,以防靶材在溅射中出现开裂等问题,提高靶材的使用率和使用寿命


灿元金属目前能提供纯铟绑定和导电胶绑定,绑定率>95%,达到国际领先水平。
绑定范围:平面靶、旋转靶、圆形靶、异形靶。
检测方法:超声波探伤检测(C-SCAN)。


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